Главная страница | Контакты | Случайная страница Автомобили Астрономия Биология География Дом и сад Другие языки Другое Информатика История Культура Литература Логика Математика Медицина Металлургия Механика Образование Охрана труда Педагогика Политика Право Психология Религия Риторика Социология Спорт Строительство Технология Туризм Физика Философия Финансы Химия Черчение Экология Экономика Электроника

Диэлектрические пленки, получаемые оксидированием

Лекция № 18

ИЗОЛЯЦИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАШИН И АППАРАТОВ

Введение

В различных областях электротехники используются тонкие нагревостойкие диэлектрические пленки, которые наносятся на поверхность металла, или полупроводника, или на иные подложки. Такие пленки из заранее подготовленного вещества могут наноситься способами испарения в вакууме, шоопированием и другими способами; возможно также осаждение исходных веществ, которые в результате химической реакции между собой дают диэлектрическую пленку.

Диэлектрические пленки, получаемые оксидированием

Рассмотрим представляющие большой интерес пленки, получаемые оксидированием - термическим, электрохимическим или плазменным - металла-подложки; таким образом, диэлектрическая пленка получается на поверхности металла в виде химического соединения этого металла с кислородом. Это так называемая оксидная изоляция в виде сплошного слоя, вводится объемный коэффициент оксидирования, т.е. отношение объема оксида к объему металла, вошедшего в этот оксид:

, (5.1)

где М - молекулярная масса оксида;  - плотность металла; n - число атомов металла, входящих в молекулу оксида; А - атомная масса металла; r _о - плотность оксида.

Если К > 1, образующийся оксидный слой может дать на металле сплошное покрытие, если же К < 1, то сплошное покрытие получено быть не может.

Например, для алюминия, который в обычных условиях всегда покрыт на воздухе тонкой пленкой оксида Al₂O₃, имеем А = 26,97; Мг/м³; М=101,91; n =2; Мг/м³, так что формула (5.1) дает К = 1,6. В то же время, например, для железа К < 1, вследствие чего сплошной оксидный слой на железе не получается.